1. 머리말
2. AMOLED 개론
　　2.1 디바이스 구조 비교
　　　　(그림1) AMOLED의 디바이스 구조 비교(우카이(鵜飼): 실천 디스플레이 공학)
　　2.2 백플랜 기술
　　　　(그림2) 백플랜용 TFT의 특성과 생산성(우카이(鵜飼): 실천 디스플레이 공학)
　　2.3 컬러화와 색분리 도포기술
　　　　(그림3) OLED의 컬러화 기술(우카이(鵜飼): 실천 디스플레이 공학)
　　　　(1) 3색방식
　　　　(2) 컬러필터방식
　　　　(3) 색변환방식
　　2.4 AMOLED의 생산 공정
　　　　(그림4) AMOLED의 생산 공정(우카이(鵜飼): 실천 디스플레이 공학)
　　　　(그림5) AMOLED의 제조 공정(증착법)(우카이(鵜飼): 실천 디스플레이 공학)
3. 플렉시블 AMOLED 제조
　　　　(그림6) 플렉시블 AMOLED의 제조공정(Optopia 자료)
　　3.1 엑시머 레이저 어닐(ELA: Excimer Laser Annealing) 장치
　　　　(1) ELA 장치 시스템 구조
　　　　(그림7) ELA 장치 개요(JSW 자료)
　　　　① 레이저 광원
　　　　(표1) 레이저 발신기(JSW 자료)
　　　　(그림8) 308㎚ 고출력 엑시머 레이저의 안정성 추이(COHERENT 자료)
　　　　② 광학계
　　　　(그림9) 각 세대 대응 레이저 및 광학계(JSW 자료)
　　　　③ 어닐러
　　　　④ 계측 시스템
　　　　(그림10) 얼룩 모니터(JSW 자료)
　　(2) 프로세스 기술
　　　　(그림11) PEX에 의한 결정성 비교(JSW 자료)
4. 국소 레이저 어닐 장치(AEGIS-ANL)
　　4.1 고체 레이저와 어닐 방법
　　　　(그림12) 시판 펄스 레이저 사양 비교(V-Technology 자료)
　　4.2 마이크로 렌즈 어레이(MLA) 설계 사양
　　　　(그림13) 레이저 어닐 처리용 MLA 설계 사양(V-Technology 자료)
　　　　(그림14) 제작한 MLA 외관과 테스트 어닐 결과(V-Technology 자료)
　　4.3 시작(試作) TFT의 특성
　　　　(그림15) 시작 TFT의 국소 어닐 처리 후의 전기 특성
　　　　(V-Technology 자료)
　　4.4 국소 레이저 어닐 장치와 기존 ELA 장치
　　　　(그림16) 국소 어닐 장치 외관(V-Technology 자료)
　　　　(그림17) 기존형 레이저 어닐 방식과 본 기술 어닐 방식
　　　　(V-Technology 자료)
5. 이온주입장치
　　5.1 닛신이온기기의 FPD용 이온주입장치의 개발 경위
　　5.2 LTPS-TFT의 디바이스 구조와 이온주입공정
　　　　(그림18) LDD LTPS-TFT의 구조(우카이(鵜飼): 실천 디스플레이 공학)
　　5.3 이온주입장치
　　　　(그림19) 5.5세대 및 6세대 기판용 이온주입장치(닛신이온기기 자료)
　　　　(그림20) 제6세대용 이온주입장치의 구성 및 사양(닛신이온기기 자료)
　　　　(그림21) 이온원부 사진(닛신이온기기)
　　　　(그림22) 질량 분리용 마그넷부 사진(닛신이온기기)
　　　　(그림23) 조립 중인 장치 사진(클린룸 천정 높이 7m) (닛신이온기기)
　　5.4 개발 상황
　　5.5 왜 닛신이온기기가 유일한 메이커가 되었는가
6. 노광장치
　　(1) 고해상도
　　(2) 고정밀도 얼라인먼트
　　(3) 고처리량
　　(4) 노광성능의 향상
　　　　(그림24) FX-68S 외관 사진(니콘 자료)
　　　　(표2) FX-68S 사양(니콘 자료)
　　　　(그림25) 멀티렌즈시스템(니콘 자료)
7. 증착법에 의한 OLED 공정
　　7.1 캐논토키의 OLED 양산 제조장치
　　　　(표3) OLED 제조장치의 현재 상황과 요구(2016년 FINETECH JAPAN에서
　　　　캐논토키의 강연자료를 토대로 작성)
　　　　(표4) 기판 사이즈 G6H용 증착장치(2016년 FINETECH JAPAN에서 캐논토키의
　　　　강연자료를 토대로 작성)
　　　　(1) 얼라이먼트 개발
　　　　(그림26) G6H 얼라이먼트 기술 개발(2016년 FINETECH JAPAN에서 캐논토키의
　　　　강연자료를 토대로 작성)
　　　　(2) 기판 유지 기구의 개발
　　　　(그림27) 기판 유지 기구의 개발(2016년 FINETECH JAPAN에서 캐논토키의
　　　　강연자료를 토대로 작성)
　　　　(3) 마이크 홀더의 개발
　　　　(4) G6H 반송 로봇 개발
　　　　(5) 증발원의 개발
　　　　(그림28) 증발원의 개발(2016년 FINETECH JAPAN에서 캐논토키의 강연자료를
　　　　토대로 작성)
　　7.2 OLED 증착용 마스크
　　　　(1) 전기주조란
　　　　① 3차원 가공기술
　　　　(그림29) 3차원 가공기술(아테네 자료)
　　　　② 표면 거칠기
　　　　(그림30) 표면 거칠기(아테네 자료)
　　　　(2) 인바(invar)란
　　　　(3) 저열팽창 인바 전기주조기술
　　　　(그림31) 열팽창계수의 비교(Ni전기주조 및 인바 전기주조)
　　　　(교토시산업기술연구소
　　　　뉴스 2014.9.26)
　　　　(4) 아테네(주)의 인바형 마스크
　　　　(표5) 각종 FMM의 비교(아테네 제공 자료)
　　　　(그림32) 메탈 마스크의 열변형 비교(아테네 자료)
　　　　(그림33) 고정세(500ppi 이상) 인바 전기주조 마스크의 SEM 사진
　　　　(아테네 자료)
　　7.3 파인 메탈 마스크(FMM: Fine Metal Mask)와 레이저 마스크 가공 장치
　　　　(1) Optopia
　　　　(그림34) 고정밀도 멀티패턴 빔 원리(Optopia 자료)
　　　　(표6) FMM 레이저 가공 장치와 FMM의 비교(Optopia 자료)
　　　　(그림35) FMM 가공 예(Optopia 자료)
　　　　(2) V-Technology
　　　　(그림36) Fine Hybrid Mask(V-Technology자료)
　　　　(그림37) FFM 마스크부 확대 이미지(V-Technology자료)
　　　　(그림38) G4.5H 대응 FHM(V-Technology자료)
　　7.4 레이저 리프트 오프(LLO)
　　　　(그림39) 레이저 리프트 오프의 원리와 프로세스(Optopia 자료)
　　　　(그림40) LLO에 필요한 레이저(Optopia 자료)
　　　　(1) Optopia의 LLO 장치
　　　　(그림41) 고체 UV 레이저 750㎜ 라인 빔 LLO장치(Optopia 자료)
　　　　(2) 니혼제강소(JSW)의 LLO 장치
　　　　(그림42) JSW의 LLO 응용 및 장치구성(JSW 자료)
　　　　(그림43) JSW LLO 장치의 특징(JSW 자료)
　　7.5 파인 셀 컷
　　　　(그림44) 파인셀 컷 프로세스(Optopia 자료)
　　　　(그림45) 파인셀 컷 프로세스 장치(Optopia 자료)
8. 표면 활성화 접합에 의한 유리와 폴리이미드 막의 접합과 박리
　　　　(그림46) Si 박막을 중간층으로 한 Fe 나노 밀착층에 의한 상온접합기술
　　　　(LAN TECHNICAL SERVICE 자료)
　　　　(그림47) 상온접합에 의한 유리/필름 접합·박리
　　　　(LAN TECHNICAL SERVICE 자료)
　　8.1 상온접합 기술을 이용한 OLED 디바이스 봉지
　　　　(1) 현재 봉지기술의 과제
　　　　(그림48) 박막봉지의 단면구조(LAN TECHNICAL SERVICE 자료)
　　　　(2) 상온접합 기술을 이용한 봉지
　　　　(그림49) 상온접합-PDL 봉지구조(LAN TECHNICAL SERVICE 자료)
　　　　(3) 상온접합 봉지를 이용한 OLED 패널
　　　　(그림50) 상온접합 봉지를 이용한 OLED 패널의 열온습도 보존시험
　　　　(야마가타대학
　　　　2015 Printable Electronics전 프레스 릴리스)
　　8.2 OLED 패널 봉지공정
　　　　(그림51) OLED 패널의 봉지공정 이미지(LANTECHNICAL SERVICE 자료)
　　8.3 상온접합기술의 Roll-to-Roll 응용 예
　　　　(그림52) 상온접합기술의 Roll-to-Roll(R2R) 응용 예
　　　　(LANTECHNICAL SERVICE자료)
9. AMOLED의 전망
　　　　(그림53) AMOLED의 방향성(2016년 FINETECH JAPAN에서 캐논토키의 강연자료를
　　　　토대로 작성)
 

フレキシブルOLED製造 ～グリーンプロセスからほど遠い現状を俯瞰～