超高精度加工技術動向(2019年7月調査）
※紙媒体で資料をご利用される場合は、書籍版とのセット購入をご検討ください。書籍版が無い【PDF商品のみ】取り扱いの調査資料もございますので、何卒ご了承ください。
調査資料詳細データ
本調査レポートは、定期刊行物 Yano E plus 2019年8月号 に掲載されたものです。
～ナノメートルオーダーの加工を支えるのは、計測・評価・工具・材料などの要素技術と加工手法を合わせた技術の積み重ね！～
1．超高精度加工技術とは
2．超高精度加工技術を俯瞰する
【図1．超高精度加工技術における研究スキームおよびキーワード】
3．超高精度加工技術の事例
3-1．機械加工
3-2．量子ビーム加工
3-3．フォトリソグラフィー
4．精密加工装置の市場規模推移と予測
【図・表1．精密加工装置の国内およびWW市場規模推移と予測（金額：2018-2022年予測）】
【図・表2．精密加工装置の種類別国内市場規模推移と予測（金額：2018-2022年予測）】
5．超高精度加工技術に関連する企業・研究機関の取組動向
5-1．株式会社エリオニクス
5-2．株式会社エンプラス
5-3．学校法人慶應義塾大学
(1)超精密ナノ切削
【図2．超精密ナノ切削の模式図】
(2)超精密ナノ成形
【図3．超精密ナノ成形の模式図】
(3)レーザープロセッシング
【図4．硬脆材料へ表面テクスチャリングした事例】
(4)マイクロ放電加工
【図5．焼結ダイヤモンドへのマイクロ放電加工の事例】
5-4．国立大学法人埼玉大学
【図6．レーザースライシング装置を模式的に示した図】
【図7．レーザースライシングしたシリンドリカルガラスレンズ（左）加工前、（右）加工後】
5-5．国立大学法人東京工業大学
(1)金属と樹脂とを複合した高剛性・高減衰なパッシブダンパー
(2)定力制御を可能としたボールバニシング工具の開発
5-6．国立大学法人東京大学
(1)精密加工・精密転写技術を組み合わせて、回転体型の高精度X線ミラーの製造技術を確立
【図8．表面転写技術である電鋳により作製された超高精度ミラー】
【図9．回転楕円ミラーによる軟X線集光システムの模式図】
(2)複雑な形状を持つ高精度ミラーによりX線リング集光ビームを実現
【図10．X線がリング状に集光される様子を示した模式図】
(3)高精度な曲面ミラーで軟X線ナノメートル集光に成功
【図11．ナノ精度表面創成システムの構築】
5-7．国立大学法人山形大学
【図12．ナノ微細転写形成の事例】
【図13．微小円盤成形の事例】
【図14．ナノコンポジット材料のマイクロ微細転写成形の事例】
【図15．プラスチック製品の医療分野への応用事例（微細ニードルアレイをプラスチック表面に加工）】
【図16．ナノスケールの高分子ロッドや繊維加工事例】
5-8．ユナイテッド・プレシジョン・テクノロジーズ株式会社（UPT）
(1)3Dエッチング技術
(2)ハーフエッチング及び段彫り
(3)大型エッチング
(4)難削材料エッチング
6．超高精度加工技術の将来展望
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