次世代先端デバイス動向(8)ナノワイヤデバイス(2019年11月調査)
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調査資料詳細データ
本調査レポートは、定期刊行物 Yano E plus 2019年12月号 に掲載されたものです。
1.今、ナノワイヤが熱い!
2.ナノワイヤデバイスの可能性
3.では、FinFETは、いつ、ナノワイヤに置き換わるのか?
4.ナノワイヤデバイスの応用事例
4-1.トランジスター
4-2.光素子
4-3.太陽電池
4-4.熱電変換素子
4-5.その他
5.ナノワイヤデバイスの市場規模予測
【図・表1.ナノワイヤデバイスの国内およびWW市場規模予測
(金額:2020-2040年予測)】
【図・表2.ナノワイヤデバイスの応用分野別WW市場規模予測
(金額:2020-2040年予測)】
6.ナノワイヤデバイスに関連する企業・研究機関の取組動向
6-1.国立大学法人大阪大学
【図1.ZnOナノワイヤを埋め込んだ薄膜の断面SEM像】
【図2.ナノワイヤを埋め込んだ透明薄膜における電子伝導と
フォノン伝導の概念図】
6-2.国立大学法人九州大学
【図3.NAPLDによって作製したZnOナノワイヤのSEM写真】
6-3.学校法人慶應義塾大学
【図4.CNTテンプレートに形成されたNbNナノワイヤの模式図と
電子顕微鏡像】
【図5.NbNナノワイヤにおいて観察された熱・量子位相スリップ】
6-4.公立大学法人首都大学東京
【図6.TMMナノワイヤの結晶構造(左)とTEM像(右)】
6-5.学校法人上智大学
(1)VLS成長
【図7.VLS成長の模式図】
(2)In自己触媒ナノワイヤ
【図8.自己触媒VLS法のプロセス】
【図9.シェル層の成長方法(VPE法)のプロセス】
【図10.成長したコアマルチシェルナノワイヤとPL特性比較】
6-6.国立大学法人東京大学
【図11.Si-MOSトランジスター構造の変遷】
6-7.国立大学法人名古屋大学
【図12.(上)ナノワイヤを用いた微生物破砕、
(下)ナノワイヤと微生物がナノワイヤによって
引っ張られている電子顕微鏡写真】
6-8.国立大学法人北陸先端科学技術大学院大学
【図13.半導体と強磁性体との複合構造からなるスピンFET】
(1)半導体ナノワイヤ構造の作製
【図14.トップダウン手法によるナノワイヤ
J. Appl. Phys. 120(2016)142123】
【図15.ボトムアップ手法によるナノワイヤ】
(2)半導体- 強磁性体複合構造の作製
【図16.ZnO/Coコアシェルナノワイヤ RSC Adv. 8(2018)632】
【図17.MnAs/InAs複合構造によるスピンデバイス】
6-9.国立大学法人北海道大学
【図18.(a)Si上のIII - V ナノワイヤ選択成長模式図、
(b)V 族原子で置換されたSi(111)表面、
(c)III 族原子で終端されたSi(111)表面、
(d)Si(111)上のInGaAsナノワイヤ選択成長結果】
6-10.学校法人早稲田大学
【図19.渡邉孝信教授が提案した新デバイス構造】
【図20.プレーナ型と直立型のデバイス構造】
【図21.発電密度のベンチマーク】
7.ナノワイヤデバイスの将来展望
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